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led芯片制造工藝流程是什么樣的?{日益興科技}

2025年10月22日
198次

我們都知道LED芯片制造起來十分復(fù)雜,今天小編來給大家簡單講講LED芯片的制造工藝流程,讓您看看這個(gè)核心器件是如何制作的。

從基底開始:長“晶體”的第一步

LED芯片的生命從一塊**襯底**開始。常見的襯底材料有藍(lán)寶石(Al?O?)、碳化硅(SiC)和硅(Si)。

不同襯底價(jià)格和性能差別挺大,比如藍(lán)寶石便宜但導(dǎo)熱差,SiC貴但導(dǎo)熱好。

這塊襯底其實(shí)就像蓋房子的地基,后面的外延層要長在它上面。一般芯片廠會(huì)先做清洗、拋光,確保表面干凈、平整,不然后面長出來的晶體會(huì)“歪”。

LED芯片

外延生長:

接下來最關(guān)鍵的一步MOCVD外延生長。

這個(gè)環(huán)節(jié)幾乎決定了芯片的亮度、波長、效率。簡單說,就是用化學(xué)氣相沉積技術(shù),在襯底上長一層層半導(dǎo)體薄膜,比如GaN(氮化鎵)、InGaN(銦鎵氮)、AlGaN(鋁鎵氮)等。

這些材料層厚度只有幾百納米到幾微米,但要層層精確控制。外延爐里的溫度、氣體比例、壓力都得調(diào)得非常細(xì)。一點(diǎn)偏差,光的波長就會(huì)飄,產(chǎn)品良率就低。

光電結(jié)構(gòu)形成:PN結(jié)的建立

外延長好之后,會(huì)形成一個(gè)多層結(jié)構(gòu),其中包含P型層、N型層和有源層。

有源層就是LED發(fā)光的“核心區(qū)域”,電子和空穴在這里復(fù)合發(fā)光。波長、亮度都跟這層材料的成分直接相關(guān)。

LED芯片

芯片制程:刻蝕、金屬化、電極制作

每個(gè)步驟都關(guān)系到芯片發(fā)光均勻度和壽命。比如金屬層厚度不均,會(huì)導(dǎo)致電流集中、局部過熱,發(fā)光點(diǎn)就容易燒壞。

切割與檢測:從晶圓到微小芯片

當(dāng)整片晶圓(通常2英寸或4英寸)做好之后,要經(jīng)過切割。

一片晶圓上可能有幾千甚至上萬個(gè)芯片。切割完之后,每顆芯片都要經(jīng)過電性和光學(xué)測試。

每一步都得精密、穩(wěn)定、干凈。LED芯片不是“拼裝”出來的,而是“長”出來的,一層層堆、一道道工藝修。

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